Semicorex является крупным производителем и поставщиком цилиндрического токоприемника из карбида кремния с покрытием SiC для LPE в Китае. Мы ориентируемся на полупроводниковые отрасли, такие как слои карбида кремния и эпитаксиальные полупроводники. Наши продукты имеют хорошее ценовое преимущество и охватывают многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером.
Семикорекс Карбид-кремниевый цилиндрический токоприемник с карбидно-кремниевым покрытием для LPE представляет собой графитовый носитель высокой чистоты с покрытием SiC, который используется в процессе выращивания эпитаксиального слоя на кристалле пластины, подходящего для LPE. Обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, что обеспечивает высокую стабильность в экстремальных условиях.
Наш цилиндрический токоприемник с карбид-кремниевым покрытием SiC для LPE также устойчив к высокотемпературному окислению и коррозии, что делает его надежным и долговечным продуктом. Его высокая температура плавления гарантирует, что он может противостоять высокотемпературной среде, необходимой для эффективного производства полупроводников.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем цилиндрическом токоприемнике из карбида кремния с покрытием SiC для LPE.
Параметры цилиндрического токоприемника с покрытием из карбида кремния SiC для ЖФЭ
Основные характеристики покрытия CVD-SIC |
||
SiC-ХОПФ свойства |
||
Кристальная структура |
Фаза FCC β |
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
твердость |
твердость по Виккерсу |
2500 |
Размер зерна |
μ м |
2~10 |
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
Теплоемкость |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексурная сила |
МПа (4-балльная КТ) |
415 |
Модуль Юнга |
ГПа (изгиб 4pt, 1300°C) |
430 |
Тепловое расширение (КТР) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Особенности цилиндрического токоприемника с покрытием из карбида кремния SiC для ЖФЭ
- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности
Стойкость к высокотемпературному окислению: стабильна при высоких температурах до 1600°C.
Высокая чистота: получено химическим осаждением из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.
Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.
Коррозионная стойкость: кислота, щелочь, соль и органические реагенты.
- Достичь наилучшего ламинарного потока газа
- Гарантия ровности теплового профиля
- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей