Если вы ищете высокопроизводительный графитовый токоприемник для использования в производстве полупроводников, то идеальным выбором станет графитовый цилиндрический токоприемник Semicorex с SiC-покрытием. Его исключительная теплопроводность и свойства распределения тепла делают его идеальным выбором для надежной и стабильной работы в высокотемпературных и агрессивных средах.
Графитовый цилиндрический токоприемник Semicorex с SiC-покрытием — идеальный выбор для производства полупроводников, требующих исключительного распределения тепла и теплопроводности. Его покрытие SiC высокой чистоты и превосходная плотность обеспечивают превосходные свойства защиты и распределения тепла, гарантируя надежную и стабильную работу даже в самых сложных условиях.
Наш графитовый цилиндрический токоприемник с карбидом кремния разработан для достижения наилучшей ламинарной схемы потока газа, обеспечивая равномерность теплового профиля. Это помогает предотвратить любые загрязнения или диффузию примесей, обеспечивая высококачественный эпитаксиальный рост на пластине.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем токоприемнике с графитовым бочонком с покрытием SiC.
Параметры графитового цилиндрического токоприемника с покрытием SiC
Основные характеристики покрытия CVD-SIC |
||
Свойства SiC-CVD |
||
Кристаллическая структура |
FCC β-фаза |
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
Твердость |
Твердость по Виккерсу |
2500 |
Размер зерна |
мкм |
2~10 |
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
Теплоемкость |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексуральная сила |
МПа (RT 4-точечный) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) |
430 |
Тепловое расширение (CTE) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Характеристики токоприемника с графитовым бочонком с покрытием SiC
- И графитовая подложка, и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.
- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.
- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность соединения, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.
- И графитовая подложка, и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.
- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.