Компонент Semicorex с покрытием SiC для ИСП разработан специально для высокотемпературных процессов обработки пластин, таких как эпитаксия и MOCVD. Благодаря покрытию из кристаллов карбида кремния наши носители обеспечивают превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность и длительную химическую стойкость.
SiC-Coated ICP Component от Semicorex — лучший выбор для процессов обработки пластин, требующих высокой термостойкости и химической стойкости. Наши носители обеспечивают ровные тепловые профили, ламинарный характер потока газа и предотвращают загрязнение или диффузию примесей благодаря нашему тонкому кристаллу карбида кремния. Благодаря покрытию из кристаллов карбида кремния наши носители обеспечивают превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность и длительную химическую стойкость.
В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественной и экономически эффективной продукции для наших клиентов. Наш компонент ICP с покрытием SiC имеет ценовое преимущество и экспортируется на многие европейские и американские рынки. Мы стремимся быть вашим долгосрочным партнером, поставляя неизменно качественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем компоненте ICP с покрытием SiC.
Параметры компонента ICP с покрытием SiC
Основные характеристики покрытия CVD-SIC |
||
SiC-ХОПФ свойства |
||
Кристальная структура |
Фаза FCC β |
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
твердость |
твердость по Виккерсу |
2500 |
Размер зерна |
μ м |
2~10 |
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
Теплоемкость |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексурная сила |
МПа (4-балльная КТ) |
415 |
Модуль Юнга |
ГПа (изгиб 4pt, 1300°C) |
430 |
Тепловое расширение (CTE) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Особенности компонента ICP с покрытием SiC
- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности
Стойкость к высокотемпературному окислению: стабильна при высоких температурах до 1600°C.
Высокая чистота: получено химическим осаждением из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.
Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.
Коррозионная стойкость: кислота, щелочь, соль и органические реагенты.
- Достичь наилучшего ламинарного потока газа
- Гарантия ровности теплового профиля
- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей