Продукты

Компонент ICP с покрытием SiC

Компонент ICP с покрытием SiC

Компонент Semicorex с покрытием SiC для ИСП разработан специально для высокотемпературных процессов обработки пластин, таких как эпитаксия и MOCVD. Благодаря покрытию из кристаллов карбида кремния наши носители обеспечивают превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность и длительную химическую стойкость.

Отправить запрос

Описание продукта

SiC-Coated ICP Component от Semicorex — лучший выбор для процессов обработки пластин, требующих высокой термостойкости и химической стойкости. Наши носители обеспечивают ровные тепловые профили, ламинарный характер потока газа и предотвращают загрязнение или диффузию примесей благодаря нашему тонкому кристаллу карбида кремния. Благодаря покрытию из кристаллов карбида кремния наши носители обеспечивают превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность и длительную химическую стойкость.
В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественной и экономически эффективной продукции для наших клиентов. Наш компонент ICP с покрытием SiC имеет ценовое преимущество и экспортируется на многие европейские и американские рынки. Мы стремимся быть вашим долгосрочным партнером, поставляя неизменно качественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем компоненте ICP с покрытием SiC.


Параметры компонента ICP с покрытием SiC

Основные характеристики покрытия CVD-SIC

SiC-ХОПФ свойства

Кристальная структура

Фаза FCC β

Плотность

г/см³

3.21

твердость

твердость по Виккерсу

2500

Размер зерна

μ м

2~10

Химическая чистота

%

99.99995

Теплоемкость

Дж·кг-1 ·К-1

640

Температура сублимации

2700

Фелексурная сила

МПа (4-балльная КТ)

415

Модуль Юнга

ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)

430

Тепловое расширение (CTE)

10-6К-1

4.5

Теплопроводность

(Вт/мК)

300


Особенности компонента ICP с покрытием SiC

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности

Стойкость к высокотемпературному окислению: стабильна при высоких температурах до 1600°C.

Высокая чистота: получено химическим осаждением из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.

Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.

Коррозионная стойкость: кислота, щелочь, соль и органические реагенты.

- Достичь наилучшего ламинарного потока газа

- Гарантия ровности теплового профиля

- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей





Горячие Теги: Компонент ICP с покрытием SiC, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные

Связанная категория

Отправить запрос

Пожалуйста, не стесняйтесь дать свой запрос в форме ниже. Мы ответим вам в течение 24 часов.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept