ICP Силиконовый графит с углеродным покрытием

Графит с силиконовым углеродным покрытием Semicorex ICP является идеальным выбором для требовательных операций с пластинами и процессов осаждения тонких пленок. Наш продукт отличается превосходной термостойкостью и коррозионной стойкостью, равномерным распределением тепла и оптимальной ламинарной структурой потока газа.

Отправить запрос

Описание продукта

Носители пластин, используемые в процессе эпитаксиального роста, должны выдерживать высокие температуры и жесткую химическую очистку. Сепараторы Semicorex ICP с силиконовым углеродным покрытием и графитовым покрытием разработаны специально для таких требовательных применений в эпитаксиальном оборудовании. Наш продукт спроектирован так, чтобы выдерживать высокие температуры и жесткую химическую очистку, обеспечивая долговечность и оптимальные результаты.
Наш графит с силиконовым углеродным покрытием ICP предназначен для достижения наилучшей ламинарной картины газового потока, обеспечивая равномерность теплового профиля. Это помогает предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей, обеспечивая высококачественный эпитаксиальный рост на кристалле пластины.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем графите с силиконовым углеродным покрытием ICP.

Параметры графита с кремниевым углеродным покрытием ICP

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Особенности графита с кремниевым углеродным покрытием ICP

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности

Стойкость к высокотемпературному окислению: стабильна при высоких температурах до 1600°C.

Высокая чистота: получено химическим осаждением из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.

Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.

Коррозионная стойкость: кислота, щелочь, соль и органические реагенты.

- Достичь наилучшего ламинарного потока газа

- Гарантия ровности теплового профиля

- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей

Горячие Теги: ICP Силиконовый графит с углеродным покрытием, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные