Графит с кремний-углеродным покрытием ICP

Носители пластин, используемые при эпитаксиальном выращивании, должны выдерживать высокие температуры и жесткую химическую очистку. Графитовые токоприемники Semicorex ICP с кремний-углеродным покрытием разработаны специально для требовательных применений эпитаксионного оборудования. Наш продукт разработан так, чтобы выдерживать высокие температуры и суровую химическую очистку, обеспечивая долговечность и оптимальные результаты.
Наш графит с кремний-углеродным покрытием ICP разработан для достижения наилучшей ламинарной схемы потока газа, обеспечивая равномерность теплового профиля. Это помогает предотвратить любые загрязнения или диффузию примесей, обеспечивая высококачественный эпитаксиальный рост на пластине.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем графите ICP с кремний-углеродным покрытием.

Параметры графита с кремний-углеродным покрытием ICP

Особенности графита с кремний-углеродным покрытием ICP

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности.

Устойчивость к высокотемпературному окислению: Стабилен при высоких температурах до 1600°C.

Высокая чистота: получено методом химического осаждения из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.

Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.

Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.

- Достижение наилучшей ламинарной схемы потока газа

- Гарантия равномерности теплового профиля

- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей.