Продукты

Пластинчатые лодочки Semicorex CVD с SiC-покрытием представляют собой высокоточные керамические несущие инструменты из карбида кремния сверхвысокой чистоты, отличающиеся высокой надежностью, превосходной чистотой и увеличенным сроком службы. Являясь идеальным решением для термической обработки пластин, лодочки для пластин Semicorex с CVD-покрытием SiC позволяют обеспечить безопасное и стабильное позиционирование пластин на этапах транспортировки и обработки.

Semicorex CVD SiC Fin — это толстый компонент из твердого карбида кремния высокой плотности, производимый методом химического осаждения из паровой фазы и предназначенный для обработки полупроводников, работающих с плазмой, и сверхвысоких температур, требующих исключительной чистоты, долговечности и коррозионной стойкости. Semicorex поставляет передовые компоненты из карбида кремния CVD производителям полупроводникового оборудования по всему миру, предлагая индивидуальные решения, точное проектирование и надежную глобальную доставку для самых требовательных технологических сред.*

Газораспределительная пластина Semicorex SiC — это прецизионно спроектированная графитовая душевая головка с CVD-покрытием SiC, предназначенная для обеспечения равномерного распределения газа, превосходной коррозионной стойкости и контроля загрязнения в системах высокотемпературной эпитаксии полупроводников. Компания Semicorex поставляет передовые графитовые компоненты с SiC-покрытием производителям полупроводников по всему миру, предлагая индивидуальные конструкции, материалы сверхвысокой чистоты и надежную глобальную доставку для 8-дюймовых, 12-дюймовых платформ обработки пластин и платформ нового поколения.*

Трубки теплообменника Semicorex SiC, изготовленные из карбидокремниевой керамики премиум-класса, обеспечивают высокоэффективную теплопроводность и обмен. Обладая превосходной теплопроводностью, устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью и механической прочностью, теплообменные трубы Semicorex SiC являются незаменимыми частями сердцевины кожухотрубных теплообменников.

Керамические шарикоподшипники Semicorex SiC — это высокопроизводительные керамические подшипники с керамическими шариками и дорожками качения, изготовленными из карбидокремниевой керамики. Керамические шарикоподшипники Semicorex SiC — идеальный выбор для применений, требующих высокой скорости вращения и надежной работы в сложных высокотемпературных и агрессивных средах.

Графитовые пластины-приемники с покрытием Semicorex SiC — это незаменимые носители графитовых пластин, покрытые плотным и равномерным CVD-покрытием SiC, которые разработаны специально для высокотехнологичных систем эпитаксиального выращивания полупроводников MOCVD. Выбор Semicorex означает, что вы можете получить экономически выгодную цену, превосходное качество продукции и надежный опыт обслуживания.