Продукты

Когда дело доходит до таких процессов обработки пластин, как эпитаксия и MOCVD, высокотемпературное SiC-покрытие Semicorex для камер плазменного травления является лучшим выбором. Наши носители обеспечивают превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность и длительную химическую стойкость благодаря тонкому кристаллическому покрытию SiC.

Лоток для плазменного травления Semicorex ICP разработан специально для высокотемпературных процессов обработки пластин, таких как эпитаксия и MOCVD. Благодаря стабильной стойкости к высокотемпературному окислению до 1600°C наши носители обеспечивают равномерные температурные профили, ламинарный характер потока газа и предотвращают загрязнение или диффузию примесей.

Носитель Semicorex с покрытием SiC для системы плазменного травления ICP представляет собой надежное и экономичное решение для высокотемпературных процессов обработки пластин, таких как эпитаксия и MOCVD. Наши носители имеют тонкое кристаллическое покрытие SiC, которое обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность и длительную химическую стойкость.

Токоприемник Semicorex с покрытием из карбида кремния для индуктивно-связанной плазмы (ICP) разработан специально для высокотемпературных процессов обработки пластин, таких как эпитаксия и MOCVD. Благодаря стабильной стойкости к высокотемпературному окислению до 1600°C наши носители обеспечивают равномерные температурные профили, ламинарный характер потока газа и предотвращают загрязнение или диффузию примесей.

Держатель пластин для травления ICP компании Semicorex является идеальным решением для высокотемпературных процессов обработки пластин, таких как эпитаксия и MOCVD. Благодаря стабильной стойкости к высокотемпературному окислению до 1600°C наши носители обеспечивают равномерные температурные профили, ламинарный характер потока газа и предотвращают загрязнение или диффузию примесей.

Несущая пластина для травления ICP компании Semicorex является идеальным решением для сложных процессов обработки пластин и процессов осаждения тонких пленок. Наш продукт обеспечивает превосходную термостойкость и коррозионную стойкость, равномерную термическую однородность и ламинарный характер потока газа. Благодаря чистой и гладкой поверхности наш держатель идеально подходит для транспортировки первозданных вафель.