Продукты
Несущая пластина для травления ICP

Несущая пластина для травления ICP

Несущая пластина для травления ICP компании Semicorex является идеальным решением для сложных процессов обработки пластин и процессов осаждения тонких пленок. Наш продукт обеспечивает превосходную термостойкость и коррозионную стойкость, равномерную термическую однородность и ламинарный характер потока газа. Благодаря чистой и гладкой поверхности наш держатель идеально подходит для транспортировки первозданных вафель.

Отправить запрос

Описание продукта

Несущая пластина для травления ICP компании Semicorex обеспечивает превосходную прочность и долговечность при работе с пластинами и процессах осаждения тонких пленок. Наш продукт может похвастаться превосходной термостойкостью и коррозионной стойкостью, равномерностью температур и ламинарным режимом потока газа. Благодаря чистой и гладкой поверхности наш перевозчик обеспечивает оптимальную транспортировку первозданных вафель. Снять высокую температуру, химическую очистку, а также высокую термическую однородность.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашей несущей пластине для травления ICP.


Параметры несущей пластины для травления ICP

Основные характеристики покрытия CVD-SIC

Свойства SiC-CVD

Кристаллическая структура

FCC β-фаза

Плотность

г/см³

3.21

Твердость

Твердость по Виккерсу

2500

Размер зерна

мкм

2~10

Химическая чистота

%

99.99995

Теплоемкость

Дж кг-1 К-1

640

Температура сублимации

2700

Фелексуральная сила

МПа (RT 4-точечный)

415

Модуль Юнга

Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃)

430

Тепловое расширение (CTE)

10-6К-1

4.5

Теплопроводность

(Вт/мК)

300


Особенности несущей пластины для травления ICP

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности.

Устойчивость к высокотемпературному окислению: Стабилен при высоких температурах до 1600°C.

Высокая чистота: получено методом химического осаждения из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.

Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.

Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.

- Достижение наилучшего ламинарного режима потока газа

- Гарантия равномерности теплового профиля

- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей.





Горячие Теги: Несущая пластина для травления ICP, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Передовые, Прочные
Связанная категория
Отправить запрос
Пожалуйста, не стесняйтесь дать свой запрос в форме ниже. Мы ответим вам в течение 24 часов.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept