Пористый графитовый тигель

Тигель из пористого графита играет решающую роль в процессе роста монокристаллов карбида кремния (SiC), что является решающим этапом в производстве полупроводников. Этот специализированный тигель рассчитан на выдерживание экстремальных температур и агрессивных химических сред, что делает его идеальным контейнером для высокотемпературных реакций, связанных с ростом кристаллов SiC.

Тигель обычно изготавливается из графита высокой чистоты, известного своей превосходной теплопроводностью, химической инертностью и механической прочностью. Термин «пористый» относится к намеренному созданию проницаемой структуры внутри графита, позволяющей контролировать поток газов и жидкостей в процессе роста кристаллов.

Процесс выращивания монокристаллов SiC включает сублимацию исходных материалов кремния и углерода в высокотемпературной печи. Тигель из пористого графита действует как контейнер для этих исходных материалов, обеспечивая стабильную и контролируемую среду для роста кристаллов. Его пористая структура обеспечивает эффективную транспортировку газов-прекурсоров и облегчает удаление побочных продуктов, образующихся в процессе роста.

Способность тигля сохранять стабильность и выдерживать экстремальные условия имеет важное значение для получения высококачественных монокристаллов SiC, которые являются неотъемлемой частью производства полупроводниковых приборов. Пористость тигля помогает оптимизировать поток газа и распределение тепла, способствуя равномерному росту крупных и высококачественных кристаллов SiC.