Гомоэпитаксии и гетероэпитаксии играют ключевую роль в материаловедении. Гомоэпитаксия предполагает выращивание кристаллического слоя на подложке из того же материала, обеспечивая минимальные дефекты за счет идеального согласования решеток. Напротив, гетероэпитаксии выращивает кристаллический слой н......
Читать далееЧтобы достичь высокого качества процессов изготовления схем микросхем с шириной линии от 0,13 мкм до 28 нм для полировки кремниевых пластин диаметром 300 мм, важно свести к минимуму загрязнение поверхности пластины примесями, такими как ионы металлов.
Читать далее