Почему CO2 вводится в процессе раскроя пластин

Введение CO₂ в воду для нарезки кубиками является важной технической мерой в процессе раскроя пластин, позволяющей подавить накопление статического электричества и уменьшить загрязнение, тем самым улучшая производительность нарезки кубиками и надежность стружки.

Устранить статическое электричество

TheвафляПроцесс нарезки кубиками требует использования высокоскоростных вращающихся алмазных дисков для резки, а деионизированная вода распыляется для охлаждения и очистки. Во время этого процесса трение генерирует большое количество статического заряда. В то же время деионизированная вода подвергается слабой ионизации во время распыления и столкновения под высоким давлением, генерируя небольшое количество ионов. Кремниевый материал сам по себе обладает свойством легко накапливать электрический заряд. Если это статическое электричество не контролировать, его напряжение может подняться выше 500 В, что приведет к электростатическому разряду. Это может не только повредить металлическую проводку схемы или вызвать межслойное растрескивание диэлектрика, но также привести к загрязнению пластины кремниевой пылью из-за электростатической адсорбции или вызвать проблемы с отрывом соединения на контактных площадках.

Когда CO₂ вводится в воду, он растворяется и образует H₂CO₃. H₂CO₃ подвергается ионизации с образованием H⁺ и HCO₃⁻, что значительно увеличивает проводимость воды, одновременно эффективно снижая ее удельное сопротивление. Такая повышенная проводимость позволяет быстро отводить статические заряды к земле через поток воды, предотвращая накопление заряда. Кроме того, как слабоэлектроотрицательный газ, CO₂ может ионизироваться в высокоэнергетической среде с образованием заряженных частиц (таких как CO₂⁺ и O⁻). Эти частицы могут нейтрализовать заряд, переносимый поверхностями пластин или пылью, тем самым снижая риск электростатической адсорбции и электростатического разряда.

Уменьшите загрязнение и защитите поверхности

Кремниевая пыль, образующаяся привафляПроцесс распиловки может накапливать статическое электричество, которое может прилипать к пластине или поверхности оборудования и приводить к загрязнению. В то же время, если охлаждающая вода является щелочной, это приведет к тому, что частицы металлов (таких как ионы Fe, Ni и Cr в нержавеющей стали) будут образовывать осадки гидроксидов. Осадки гидроксидов будут откладываться на поверхности пластины или в каналах нарезки кубиками, влияя на качество чипа.

Когда CO₂ вводится, он нейтрализует электрические заряды, ослабляя электростатическую силу между пылью и поверхностями. В то же время поток воздуха CO₂ предотвращает вторичное прилипание, рассеивая пыль в зоне резки. Добавление CO₂ также создает умеренно кислую среду, которая препятствует осаждению ионов металлов, удерживая их в растворенном состоянии и позволяя потоку воды уносить их. Кроме того, поскольку CO₂ является инертным газом, он уменьшает контакт между кремниевой пылью и кислородом, предотвращая окисление и агломерацию пыли и дополнительно повышая чистоту среды резки.

Semicorex предлагает высокое качествовафлидля наших уважаемых клиентов. Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Контактный телефон +86-13567891907.

Электронная почта: sales@semicorex.com