Основная кристаллическая ячейка монокристаллического кремния представляет собой структуру цинковой обманки, в которой каждый атом кремния химически связан с четырьмя соседними атомами кремния. Эта структура также встречается в монокристаллических углеродных алмазах.
Читать далееПоскольку технологические узлы продолжают сокращаться, формирование сверхмелких соединений представляет собой серьезную проблему. Процессы термического отжига, в том числе быстрый термический отжиг (RTA) и отжиг импульсной лампой (FLA), являются жизненно важными методами, которые поддерживают высоку......
Читать далееВ производстве полупроводников точность и стабильность процесса травления имеют первостепенное значение. Одним из важнейших факторов достижения высококачественного травления является обеспечение идеально ровного положения пластин на лотке во время процесса. Любое отклонение может привести к неравном......
Читать далее