Обработка поверхности для высококачественного электростатического патрона

The электростатический патронвыполняет множество функций, таких как равномерный электростатический разряд, теплопроводность, адсорбция и фиксация пластин в области производства полупроводников. Одной из основных функций ESC является стабильная адсорбция пластин в экстремальных условиях эксплуатации, таких как высокий вакуум, сильная плазма и широкий температурный диапазон.

На самом деле их производительность определяет не внешняя структура или формула основного материала, а процесс обработки поверхности. Без профессиональной обработки поверхности в процессе эксплуатации возникнут следующие проблемы:

1. Плазменная эрозия и загрязнение ионами металлов.

Незащищенные керамические поверхности уязвимы для плазменной эрозии при травлении или CVD-процессе. Этот тип эрозии может напрямую привести к высвобождению ионов металлов или отслоению керамических частиц, тем самым загрязняя пластину.

2. Неравномерная теплопроводность и деформация коробления.

Грубые поверхности или плохая обработка приводят к неравномерному контакту между пластиной и пластиной.ЭКУ, препятствуя теплопроводности и влияя на однородность CD.

3. Нестабильная электростатическая адсорбция.

выполняет множество функций, таких как равномерный электростатический разряд, теплопроводность, адсорбция и фиксация пластин в области производства полупроводников. Одной из основных функций ESC является стабильная адсорбция пластин в экстремальных условиях эксплуатации, таких как высокий вакуум, сильная плазма и широкий температурный диапазон.

Поверхность высококачественных регуляторов скорости часто имеет составную многослойную структуру, точно регулирующую функциональные зоны с помощью покрытий для достижения истинной высокопроизводительной интеграции.

Распространенные технологии обработки поверхности высококачественных регуляторов скорости:

1. Фторполимерные неадгезивные покрытия (например, ПТФЭ и ПФА).

Этот вид покрытия особенно подходит для низкотемпературных технологических сред из-за его низкой поверхностной свободной энергии, которая эффективно предотвращает адсорбцию остатков фоторезиста.

2. Покрытия из алмазоподобного углерода (DLC).

Благодаря высокой твердости, плазменной стойкости и низкому коэффициенту трения они подходят для защиты от эрозии и отделения частиц в травильном оборудовании.

3. Проводящие керамические пленки PVD (такие как CrSiN и TiN)

Этот тип покрытия может создать стабильный проводящий путь в определенной области и тем самым эффективно избежать проблемы локального накопления заряда за счет точного контроля равномерного разряда поверхностных зарядов.

4.Композитные теплопроводящие покрытия (например, алмазный порошок и гибридное покрытие из фторполимера)

Этот вид покрытия сочетает в себе неадгезионные свойства и теплопроводность, а его общие характеристики могут точно соответствовать требованиям применения высокоточных регуляторов терморегулирования.