> Новости > Новости отрасли

Новости отрасли

Почему кольцо фокусировки незаменимо для оборудования для травления?

Кольцо фокусировки, также называемое компенсационным кольцом или ограничительным кольцом, является незаменимым компонентом оборудования для травления, особенно оборудования для плазменного сухого травления. Без этого наномасштабные прецизионные процессы травления в современном производстве полупрово......

Какую роль играет процесс отжига?

Точно регулируя профили нагрева и охлаждения, процесс отжига может активировать атомы легирующей примеси, устранять повреждения решетки, снимать внутренние напряжения и повышать электрическую надежность пластин. Эти важные улучшения производительности закладывают прочную основу для последующей обраб......

Керамические вакуумные патроны

Керамические вакуумные патроны — это инструменты, используемые для зажима и переноски полупроводниковых пластин при производстве полупроводниковых пластин. Они отличаются высокой плоскостностью и параллельностью, плотной и однородной структурой, высокой прочностью, хорошей воздухопроницаемостью, рав......

Оптимизация конструкции теплового поля для эпитаксиальной печи SiC (CVD-реактор с горячими стенками)

Основной целью является достижение однородности температуры поверхности пластины (≤±0,5–5 ℃) и стабильности поля температуры/потока, тем самым улучшая однородность толщины эпитаксиального слоя (<3%), doping uniformity (<8%), reducing defect density, and increasing growth rate (>60 мкм/ч).

Ключевые технологии углерод/углеродных композиционных материалов

C/C-композиты обладают множеством превосходных свойств и в настоящее время являются единственными композиционными материалами, способными работать при высоких температурах выше 2600°C в инертной атмосфере, что делает их широко применимыми в аэрокосмической, военной, атомной энергетике, металлургии и......

Краткое введение в процесс изготовления пластин SiC

Являясь незаменимым материалом подложки в передовой полупроводниковой промышленности, пластины карбида кремния демонстрируют превосходные тепловые и электрические свойства, предлагая широкие перспективы применения в высокотемпературных, высокочастотных, мощных и радиационно-стойких интегрированных э......

<1 2 3 4 5...46 >