Монокристаллическая кремниевая пластина Susceptor

Наш эпитаксиальный токоприемник из монокристаллического кремния представляет собой графитовый продукт, покрытый высокочистым карбидом кремния, обладающим высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью. Носитель с покрытием из карбида кремния CVD используется в процессах формирования эпитаксиального слоя на полупроводниковых пластинах. Он обладает высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла, которые необходимы для эффективных и точных процессов производства полупроводников.
Одной из ключевых особенностей нашего монокристаллического кремниевого токоприемника является его превосходная плотность. Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в высокотемпературных и агрессивных рабочих средах. Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности, что необходимо для обеспечения высокого качества производства пластин.
Еще одной важной особенностью нашего продукта является его способность уменьшать разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния. Это эффективно повышает прочность склеивания, предотвращая растрескивание и расслоение. Кроме того, как графитовая подложка, так и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла, что обеспечивает равномерное распределение тепла в процессе производства.
Наш токоприемник на основе монокристаллических кремниевых пластин также устойчив к высокотемпературному окислению и коррозии, что делает его надежным и долговечным продуктом. Его высокая температура плавления гарантирует, что он может противостоять высокотемпературной среде, необходимой для эффективного производства полупроводников.
Подводя итог, можно сказать, что Semicorex Presceptor для монокристаллических кремниевых пластин представляет собой сверхчистое, долговечное и надежное решение для графитовой эпитаксии и обработки пластин. Его превосходная плотность, плоскостность поверхности и теплопроводность делают его идеальным для использования в высокотемпературных и агрессивных средах. Мы гордимся тем, что предоставляем высококачественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и надеемся на сотрудничество с вами для удовлетворения всех ваших потребностей в носителях полупроводниковых пластин.

Параметры токоприемника из монокристаллической кремниевой пластины

Характеристики токоприемника из монокристаллической кремниевой пластины

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности
Стойкость к высокотемпературному окислению: стабильна при высоких температурах до 1600°C.
Высокая чистота: получено химическим осаждением из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.
Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.
Коррозионная стойкость: кислота, щелочь, соль и органические реагенты.
- Достичь наилучшего ламинарного потока газа
- Гарантия ровности теплового профиля
- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей