Монокристаллический кремниевый токоприемник

Монокристаллический кремниевый токоприемник Semicorex является идеальным решением для процессов эпитаксии графита и обработки пластин. Наш сверхчистый продукт обеспечивает минимальное загрязнение и исключительный срок службы, что делает его популярным выбором на многих рынках Европы и Америки. Как ведущий поставщик носителей полупроводниковых пластин в Китае, мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером.

Отправить запрос

Описание продукта

Наш эпитаксиальный токоприемник из монокристаллического кремния представляет собой графитовый продукт, покрытый карбидом кремния высокой чистоты, который обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью. Носитель с покрытием CVD из карбида кремния используется в процессах формирования эпитаксиального слоя на полупроводниковых пластинах. Он обладает высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла, которые необходимы для эффективных и точных процессов производства полупроводников.
Одной из ключевых особенностей наших токоприемников из монокристаллических кремниевых пластин является их превосходная плотность. И графитовая подложка, и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в высокотемпературных и агрессивных рабочих средах. Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности, что важно для поддержания высокого качества производства пластин.
Еще одной важной особенностью нашего продукта является его способность уменьшать разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния. Это эффективно повышает прочность соединения, предотвращая растрескивание и расслоение. Кроме того, как графитовая подложка, так и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла, гарантируя равномерное распределение тепла во время производственного процесса.
Наш монокристаллический кремниевый токоприемник также устойчив к высокотемпературному окислению и коррозии, что делает его надежным и долговечным продуктом. Его высокая температура плавления гарантирует, что он может выдерживать высокотемпературную среду, необходимую для эффективного производства полупроводников.
В заключение отметим, что монокристаллический кремниевый токоприемник Semicorex представляет собой сверхчистое, долговечное и надежное решение для процессов эпитаксии графита и обработки пластин. Его превосходная плотность, плоскостность поверхности и теплопроводность делают его идеальным для использования в высокотемпературных и агрессивных средах. Мы гордимся тем, что предоставляем высококачественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и надеемся на сотрудничество с вами для удовлетворения всех ваших потребностей в носителях полупроводниковых пластин.

Параметры монокристаллического кремниевого пластинчатого токоприемника

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
Свойства SiC-CVD
Кристаллическая структура	FCC β-фаза
Плотность	г/см³	3.21
Твердость	Твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	мкм	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексуральная сила	МПа (RT 4-точечный)	415
Модуль Юнга	Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Особенности монокристаллического кремниевого пластинчатого токоприемника

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности.
Устойчивость к высокотемпературному окислению: Стабилен при высоких температурах до 1600°C.
Высокая чистота: получено методом химического осаждения из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.
Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.
Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
- Достижение наилучшего ламинарного режима потока газа
- Гарантия равномерности теплового профиля
- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей.