Монокристаллический кремниевый эпитаксиальный токоприемник

Монокристаллический кремниевый эпитаксиальный токоприемник Semicorex представляет собой графитовый продукт, покрытый высокоочищенным SiC, который обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью. Носитель с покрытием CVD из карбида кремния, используемый в процессах формирования эпитаксиального слоя на полупроводниковых пластинах, имеет высокую теплопроводность и отличные свойства распределения тепла.
Наш эпитаксиальный токоприемник из монокристаллического кремния разработан для достижения наилучшей ламинарной схемы потока газа, обеспечивая равномерность теплового профиля. Это помогает предотвратить любые загрязнения или диффузию примесей, обеспечивая высококачественный эпитаксиальный рост на пластине.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем эпитаксиальном токоприемнике из монокристаллического кремния.

Параметры эпитаксиального токоприемника из монокристаллического кремния

Особенности эпитаксиального токоприемника из монокристаллического кремния

- И графитовая подложка, и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.
- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.
- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность соединения, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.
- И графитовая подложка, и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.
- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.