Монокристаллический кремниевый эпитаксиальный токоприемник

Монокристаллический кремниевый эпитаксиальный токоприемник Semicorex представляет собой графитовый продукт, покрытый высокоочищенным карбидом кремния, обладающим высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью. Носитель с покрытием из карбида кремния CVD, используемый в процессах формирования эпитаксиального слоя на полупроводниковых пластинах, обладает высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.
Наш монокристаллический кремниевый эпитаксиальный токоприемник предназначен для достижения наилучшей ламинарной картины газового потока, обеспечивая равномерность теплового профиля. Это помогает предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей, обеспечивая высококачественный эпитаксиальный рост на кристалле пластины.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем монокристаллическом кремниевом эпитаксиальном токоприемнике.

Параметры эпитаксиального токоприемника из монокристаллического кремния

Особенности эпитаксиального токоприемника из монокристаллического кремния

- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.
- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.
- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность сцепления, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.
- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.
- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.