Вафельные носители с покрытием SiC

Вафельные носители Semicorex с покрытием SiC обладают превосходной термической стабильностью и проводимостью, что важно для поддержания постоянной температуры во время процессов химического осаждения из паровой фазы (CVD). Это обеспечивает равномерное распределение тепла по подложке, что имеет решающее значение для достижения высококачественных характеристик тонкой пленки и покрытия.

Держатели пластин с покрытием SiC производятся в соответствии со строгими стандартами, обеспечивая однородную толщину и гладкость поверхности. Эта точность жизненно важна для достижения постоянной скорости осаждения и свойств пленки на нескольких пластинах.

Покрытие SiC действует как непроницаемый барьер, предотвращая диффузию примесей из токоприемника в пластину. Это сводит к минимуму риск загрязнения, что имеет решающее значение для производства полупроводниковых приборов высокой чистоты. Долговечность держателей полупроводников Semicorex с покрытием SiC снижает частоту замены токоприемника, что приводит к снижению затрат на техническое обслуживание и минимизации простоев в операциях по производству полупроводников.

Вафельные держатели Semicorex с покрытием SiC можно настроить в соответствии с конкретными технологическими требованиями, включая различия в размере, форме и толщине покрытия. Такая гибкость позволяет оптимизировать токоприемник в соответствии с уникальными требованиями различных процессов производства полупроводников. Возможности индивидуальной настройки позволяют разрабатывать конструкции токоприемников, адаптированные для специализированных применений, таких как крупносерийное производство или исследования и разработки, обеспечивая оптимальную производительность для конкретных случаев использования.