Покрытие из карбида тантала Деталь полумесяца

Деталь Halfmoon с покрытием из карбида тантала Semicorex представляет собой узкоспециализированный компонент, предназначенный для применения в процессе эпитаксиального осаждения. Эта деталь Halfmoon с покрытием из карбида тантала имеет решающее значение в средах, где стойкость к высоким температурам, исключительная долговечность и беспрецедентная химическая инертность являются обязательными.

Покрытие из карбида тантала Деталь Halfmoon изготовлена ​​из карбида тантала высокой чистоты, обеспечивающего превосходную теплопроводность и исключительную устойчивость к высоким температурам и тепловому удару. Покрытие TaC обеспечивает дополнительный уровень защиты от агрессивных химикатов и агрессивных сред, типичных для эпитаксиальных реакторов. Покрытие повышает долговечность и долговечность детали, обеспечивая стабильную работу в течение нескольких циклов.

Деталь Halfmoon с покрытием из карбида тантала способна выдерживать температуру до 2200°C, что делает ее идеальной для высокотемпературных процессов. Обладает низкой реакционной способностью по отношению к кремнию и другим полупроводниковым материалам, сохраняя целостность эпитаксиальных слоев.

Покрытие из карбида тантала Полумесяц Деталь, в основном используемая в полупроводниковой промышленности, особенно при эпитаксиальном выращивании карбида кремния. Подходит для использования как в исследовательских, так и в эпитаксиальных реакторах промышленного масштаба.