Планетарная пластина с покрытием TaC

Планетарная пластина Semicorex TaC Coating — это высокопроизводительный компонент, разработанный специально для систем MOCVD. Планетарная пластина с покрытием TaC, разработанная для обеспечения оптимальной долговечности и термической стабильности, необходима для обеспечения равномерного осаждения и высококачественного роста пленки в процессах производства полупроводников.

Планетарная пластина с покрытием TaC изготовлена ​​из высококачественного карбида тантала, известного своей исключительной твердостью, теплопроводностью и устойчивостью к химической коррозии, что обеспечивает длительный срок службы и стабильную работу в условиях высоких температур. Выдающаяся термическая стабильность карбида тантала гарантирует, что пластина выдержит экстремальные температуры, возникающие во время процессов MOCVD, сохраняя структурную целостность и постоянство характеристик.

Подходит для различных применений MOCVD, включая осаждение полупроводников III-V, нитридов, оксидов и других сложных материалов. Конструкция планетарной пластины с покрытием TaC подходит для различных конфигураций реакторов и размеров подложек, обеспечивая гибкость для удовлетворения разнообразных производственных требований.

Инвестируйте в планетарную пластину Semicorex TaC с покрытием, чтобы добиться непревзойденной надежности и эффективности ваших полупроводниковых процессов. Разработанный с учетом требований производства полупроводников, он является свидетельством передовых достижений инженерии и материаловедения.