TAC покрытие полумесяца

Керамика TAC имеет температуру плавления до 3880 ° C, высокая твердость (твердость MOHS 9-10), большая теплопроводность (22 Вт · м-1 · K-1), большая прочность на изгиб (340-400 МПА) и малый коэффициент термического расширения (6,6 × 10-КК -1). Они также демонстрируют превосходную термохимическую стабильность и превосходные физические свойства, а также имеют хорошую химическую и механическую совместимость с графитами и композитами C/C. Следовательно, покрытия TAC широко используются в аэрокосмической тепловой защите, монокристалле, энергетической электронике и медицинских устройствах.

Графит, покрытый TAC, обладает лучшей химической коррозионной устойчивостью, чем Gare Graphite или SIC-графит, может быть стабильно использовать при высоких температурах 2600 ° и не реагирует со многими элементами металлов. Это лучшее покрытие в сценариях полупроводниковых монокристаллов третьего поколения и сценариях травления пластин, и может значительно улучшить контроль температуры и примесей в процессе, а также подготовить высококачественные карбиды кремния и связанные с ними эпитаксиальные пластины. Он особенно подходит для выращивания монокристаллов GAN или ALN с оборудованием MOCVD и выращиванием монокристаллов SIC с оборудованием PVT. Качество взрослых монокристаллов значительно улучшается.

Этот продукт является идеальным решением для производителей, определяющих приоритеты точности, эффективности и долговечности в их процессах эпитаксии. Trust Semicorex для высокопроизводительных решений, предназначенных для удовлетворения развивающихся потребностей полупроводниковой промышленности.