Пластина с покрытием TaC

Пластина с покрытием TaC — это специализированный диск, предназначенный для использования в эпитаксиальных процессах SiC и изготовленный с высокой точностью из высококачественного графитового материала. Его поверхность тщательно покрыта карбидом тантала (TaC), соединением, известным своей исключительной чистотой и прочностью. Покрытие TaC повышает долговечность пластины и устойчивость к высоким температурам, что делает ее идеальной для сложных условий эпитаксиальных процессов SiC.

Эта инновационная пластина с покрытием TaC представляет собой специализированный диск, предназначенный для использования в эпитаксиальных процессах SiC и изготовленный с высокой точностью из высококачественного графитового материала. Поверхность пластины с покрытием TaC тщательно покрыта карбидом тантала (TaC), соединением, известным своей исключительной чистотой и прочностью. служит надежной платформой для переноски пластин на различных стадиях эпитаксиального роста SiC. Основа из графита высокой чистоты обеспечивает стабильную и инертную поверхность, а покрытие TaC обеспечивает дополнительный уровень защиты от химических реакций и износа.

Пластины Semicorex с покрытием TaC изготавливаются по индивидуальному заказу в соответствии с конкретными требованиями клиентов, обеспечивая оптимальную производительность и совместимость с их эпитаксиальными системами SiC. Будь то размер, форма или другие характеристики, эти пластины адаптированы к уникальным потребностям каждого применения.