Детали из графита с покрытием TaC

Детали Semicorex с графитовым покрытием TaC изготовлены из изостатического графита высокой чистоты и покрыты карбидом тантала (TaC), что обеспечивает беспрецедентную устойчивость к экстремальным температурам. Детали с графитовым покрытием TaC разработаны так, чтобы выдерживать суровые условия, встречающиеся при производстве полупроводников, и превосходно подходят для оптимизации различных процессов, имеющих решающее значение для производства высококачественной полупроводниковой продукции. Их исключительная термостойкость обеспечивает надежность и долговечность даже в самых сложных температурных условиях.

Детали из графита с покрытием TaC играют ключевую роль в оптимизации ключевых методов обработки полупроводников, включая процессы диффузии, окислительный отжиг, LPCVD и PECVD. Облегчая точный контроль температуры и обеспечивая однородность всех подложек, графитовые детали с покрытием TaC вносят значительный вклад в улучшение качества продукции и эффективности производства.

Детали Semicorex с графитовым покрытием TaC разработаны с учетом строгих требований производства полупроводников. От улучшения процессов диффузии до улучшения качества и эффективности различных методов осаждения, графитовые детали с покрытием TaC являются незаменимым активом в стремлении к совершенству в производстве полупроводников.