Токоприемник с сеткой

Semicorex Susceptor with Grid — это специализированный компонент, используемый в процессе эпитаксиального выращивания полупроводниковых пластин. Это важнейшее оборудование предназначено для переноски и поддержки пластин во время осаждения материалов в системе химического осаждения из паровой фазы (MOCVD). Суцептор с сеткой играет ключевую роль в обеспечении равномерного и контролируемого роста эпитаксиальных слоев на полупроводниковой пластине.

Susceptor with Grid изготовлен из материалов, оптимизированных для его функции. В данном случае он изготовлен из графита, покрытого MOCVD SiC (карбид кремния методом металлоорганического химического осаждения из паровой фазы). Такой выбор материалов обеспечивает ряд преимуществ, включая устойчивость к высоким температурам, химическую стабильность и отличную теплопроводность. Покрытие SiC на графите повышает долговечность и устойчивость токоприемника к суровым условиям, возникающим в процессе эпитаксиального роста.

Структура Susceptor with Grid служит опорным механизмом для полупроводниковых пластин. Он стратегически разработан для надежного удержания пластин на месте, обеспечивая при этом эффективный поток газов и равномерное осаждение материалов. Сетчатый рисунок помогает равномерно распределять тепло и реагенты по поверхности пластины, способствуя точному контролю толщины и состава эпитаксиального слоя.

Semicorex Susceptor with Grid — важнейший компонент в процессе производства современных полупроводниковых приборов. Его прочная конструкция и специализированный дизайн делают его незаменимым инструментом для достижения высококачественного эпитаксиального выращивания, обеспечивая производство полупроводников с превосходными характеристиками и надежностью.