Кремниевые эпитаксиальные сусецепторы

Вы можете быть уверены, что купите кремниевые эпитаксиальные резисторы на нашем заводе. Silicon Epitaxy Susceptor компании Semicorex — это высококачественный продукт высокой чистоты, используемый в полупроводниковой промышленности для эпитаксиального выращивания пластины. Наш продукт имеет превосходную технологию покрытия, которая гарантирует, что покрытие присутствует на всех поверхностях, предотвращая отслаивание. Продукт стабилен при высоких температурах до 1600°C, что делает его пригодным для использования в экстремальных условиях.

Отправить запрос

Описание продукта

Наши кремниевые эпитаксиальные рецепторы изготавливаются методом CVD химического осаждения из паровой фазы в условиях высокотемпературного хлорирования, что обеспечивает высокую чистоту. Поверхность продукта плотная, с мелкими частицами и высокой твердостью, что делает его устойчивым к коррозии кислотой, щелочью, солью и органическими реагентами.
Наш продукт предназначен для достижения наилучшей ламинарной картины потока газа, гарантируя равномерность теплового профиля. Наши кремниевые эпитаксиальные датчики предотвращают любое загрязнение или диффузию примесей во время процесса эпитаксиального выращивания, обеспечивая высокое качество результатов.
В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественной и экономически эффективной продукции для наших клиентов. Наши кремниевые эпитаксиальные датчики имеют ценовое преимущество и экспортируются на многие европейские и американские рынки. Мы стремимся быть вашим долгосрочным партнером, поставляя неизменно качественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.

Параметры кремниевых эпитаксиальных сусецепторов

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Параметры кремниевых эпитаксиальных сусецепторов

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности
Стойкость к высокотемпературному окислению: стабильна при высоких температурах до 1600°C.
Высокая чистота: получено химическим осаждением из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.
Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.
Коррозионная стойкость: кислота, щелочь, соль и органические реагенты.
- Достичь наилучшего ламинарного потока газа
- Гарантия ровности теплового профиля
- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей