Графитовый цилиндр Semicorex с покрытием из карбида кремния — идеальный выбор для производства полупроводников, требующих высокой термостойкости и коррозионной стойкости. Его исключительная теплопроводность и свойства распределения тепла делают его идеальным для использования в процессах LPE и других высокотемпературных средах.
Когда дело доходит до производства полупроводников, графитовый корпус Semicorex с покрытием из карбида кремния является лучшим выбором благодаря исключительной производительности и надежности. Его высококачественное покрытие SiC, а также превосходная плотность и теплопроводность обеспечивают превосходное распределение тепла и защиту даже в самых сложных высокотемпературных и агрессивных средах.
Наш графитовый цилиндр с покрытием из карбида кремния обеспечивает равномерный тепловой профиль, гарантируя наилучшую ламинарную структуру потока газа. Он предотвращает диффузию любых загрязнений или примесей в пластину, что делает ее идеальной для использования в чистых помещениях. Semicorex является крупным производителем и поставщиком графитовых токоприемников с покрытием SiC в Китае, и наша продукция имеет хорошее ценовое преимущество. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в полупроводниковой промышленности.
Параметры графитового ствола с покрытием из карбида кремния
Основные характеристики покрытия CVD-SIC |
||
Свойства SiC-CVD |
||
Кристаллическая структура |
FCC β-фаза |
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
Твердость |
Твердость по Виккерсу |
2500 |
Размер зерна |
мкм |
2~10 |
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
Теплоемкость |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексуральная сила |
МПа (RT 4-точечный) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) |
430 |
Тепловое расширение (CTE) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Характеристики графитового ствола с покрытием из карбида кремния
- И графитовая подложка, и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.
- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.
- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность соединения, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.
- И графитовая подложка, и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.
- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.