Графитовый ствол с покрытием из карбида кремния

Когда речь идет о производстве полупроводников, графитовый корпус Semicorex с карбид-кремниевым покрытием является лучшим выбором благодаря исключительной производительности и надежности. Его высококачественное покрытие SiC, а также превосходная плотность и теплопроводность обеспечивают превосходное распределение тепла и защиту даже в самых сложных высокотемпературных и агрессивных средах.

Наш графитовый ствол с покрытием из карбида кремния обеспечивает равномерный тепловой профиль, гарантируя наилучшую ламинарную схему газового потока. Он предотвращает проникновение любых загрязнений или примесей в пластину, что делает ее идеальной для использования в чистых помещениях. Semicorex является крупным производителем и поставщиком графитовых токоприемников с покрытием SiC в Китае, и наша продукция имеет хорошее ценовое преимущество. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в полупроводниковой промышленности.

Параметры графитового ствола с покрытием из карбида кремния

Характеристики графитового ствола с покрытием из карбида кремния

- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.

- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.

- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность сцепления, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.

- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.

- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.