Лодка для отжига кремния

Сверхвысокая чистота для безупречной технологической среды: Лодочка для отжига кремния Semicorex, изготовленная из кремния сверхвысокой чистоты (чистота до 13N), минимизирует риск загрязнения во время высокотемпературной обработки. Эта исключительная чистота гарантирует, что пластины будут подвергаться воздействию чистой окружающей среды, предотвращая попадание нежелательных примесей, которые могут ухудшить производительность устройства и снизить выход продукции.

Уменьшенный контакт с пластиной для минимизации повреждений:Гладкая полированная поверхность лодочки для отжига кремния сводит к минимуму количество точек контакта с пластинами, что значительно снижает риск появления царапин, сколов или других механических повреждений во время транспортировки и обработки. Такое бережное обращение сохраняет целостность пластин, улучшая общий выход процесса и способствуя созданию более качественных устройств.

Настраиваемый дизайн для оптимизации производительности: Конструкции лодочек для отжига кремния могут быть адаптированы к конкретным технологическим требованиям, включая изменения формы лодочки, длины, угла и количества опорных зубьев пластины. Такая настройка позволяет оптимизировать динамику потока газа, однородность температуры и расстояние между пластинами внутри печи, обеспечивая стабильные и повторяемые результаты обработки для широкого спектра геометрий устройств и параметров процесса.

Высокий предел осаждения поликремния для длительной эксплуатации:Лодочка для отжига кремния выдерживает высокую устойчивость к осаждению поликремния, что позволяет продлить срок службы, прежде чем потребуется очистка или замена. Этот увеличенный срок службы сокращает время простоя оборудования, связанное с техническим обслуживанием, способствуя увеличению производственной мощности и снижению общих производственных затрат.