Ресивер дисков SiC

Благодаря глубокой приверженности качеству и инновациям, сверхчистый SiC Disc Susceptor компании Semicorex устанавливает новый стандарт производительности в оборудовании для эпитаксии, MOCVD и RTP. Сочетая в себе исключительную стойкость к термическому удару, превосходную теплопроводность, исключительную химическую стойкость и сверхвысокую чистоту, эти инженерные компоненты позволяют производителям полупроводников достигать беспрецедентной эффективности, надежности и качества продукции. Настраиваемые решения Semicorex дополнительно гарантируют, что каждое приложение термической обработки будет использовать оптимизированные, прецизионные компоненты, разработанные для удовлетворения его уникальных требований.

Выдающаяся стойкость к тепловому удару:Дисковый токоприемник SiC превосходно выдерживает быстрые колебания температуры, которые характерны для RTP и других высокотемпературных процессов. Эта исключительная стойкость к термическому удару обеспечивает структурную целостность и долговечность, сводя к минимуму риск повреждения или отказа из-за резких изменений температуры и повышая надежность оборудования для термической обработки.

Превосходная теплопроводность:Эффективная теплопередача имеет решающее значение при термической обработке. Превосходная теплопроводность дискового токоприемника SiC обеспечивает быстрый и равномерный нагрев и охлаждение, что необходимо для точного контроля температуры и однородности процесса. Это приводит к повышению эффективности процесса, сокращению времени цикла и повышению качества полупроводниковых пластин.

Исключительная химическая стойкость:Дисковый токоприемник SiC обеспечивает исключительную устойчивость к широкому спектру агрессивных и химически активных химикатов, используемых в процессах эпитаксии, MOCVD и RTP. Эта химическая инертность защищает лежащий в основе графит от разрушения, предотвращает загрязнение технологической среды и обеспечивает стабильную работу в течение длительных периодов эксплуатации.

Сверхвысокая чистота: Дисковый токоприемник SiC производится в соответствии со стандартами сверхвысокой чистоты как графита, так и покрытия SiC, что позволяет избежать возможного загрязнения и обеспечить производство бездефектных полупроводниковых приборов. Такая приверженность чистоте означает более высокую производительность и улучшенную производительность устройства.

Наличие сложных форм:Передовые производственные возможности Semicorex позволяют производить дисковые токоприемники SiC сложной формы, адаптированные к конкретным требованиям клиентов. Такая гибкость позволяет разрабатывать индивидуальные решения, которые точно отвечают потребностям различных применений термической обработки, повышая эффективность процесса и совместимость оборудования.

Можно использовать в окислительной атмосфере:Прочное CVD-покрытие SiC обеспечивает превосходную защиту от окисления, позволяя дисковому токоприемнику SiC надежно работать в окислительной среде. Это расширяет их применимость к более широкому спектру термических процессов, обеспечивая универсальность и адаптируемость.

Прочная, повторяемая производительность:Дисковый токоприемник SiC, предназначенный для работы в условиях высоких температур и вакуума, обеспечивает надежную и стабильную работу. Их долговечность и стабильность делают их идеальными для критически важных применений термической обработки, сокращая время простоя, затраты на техническое обслуживание и обеспечивая долгосрочную эксплуатационную надежность.

Semicorex специализируется на индивидуальной настройке компонентов с CVD-покрытием SiC для удовлетворения разнообразных потребностей оборудования для термической обработки, включая:

Диффузоры:Повысьте равномерность распределения газа и стабильность процесса.

Изоляторы:Обеспечивает теплоизоляцию и защиту в условиях высоких температур.

Другие нестандартные тепловые компоненты:Индивидуальные решения, разработанные с учетом конкретных технологических требований и оптимизации производительности оборудования.