Держатели подложек с графитовым покрытием SiC для MOCVD

Вы можете быть уверены, что купите держатели пластин SiC с графитовой подложкой для MOCVD на нашем заводе. Компания Semicorex является крупным производителем и поставщиком графитовых токоприемников с покрытием SiC в Китае. Наш продукт имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие европейские и американские рынки. Мы стремимся предоставить нашим клиентам высококачественную продукцию, отвечающую их специфическим требованиям. Наш носитель с графитовой подложкой с покрытием SiC для MOCVD — отличный выбор для тех, кто ищет высокопроизводительный носитель для процесса производства полупроводников.

Отправить запрос

Описание продукта

Держатель подложки с графитовым покрытием SiC для MOCVD играет решающую роль в процессе производства полупроводников. Наш продукт очень стабилен даже в экстремальных условиях, что делает его отличным выбором для производства высококачественных пластин.
Характеристики наших держателей пластин с графитовой подложкой с покрытием SiC для MOCVD выдающиеся. Его плотная поверхность и мелкие частицы повышают его коррозионную стойкость, делая его устойчивым к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам. Носитель обеспечивает равномерный тепловой профиль и гарантирует наилучший ламинарный поток газа, предотвращая диффузию любых загрязнений или примесей в пластину.

Параметры носителей графитовой подложки с покрытием SiC для MOCVD

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Особенности графитового токоприемника с покрытием SiC для MOCVD

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности
Стойкость к высокотемпературному окислению: стабильна при высоких температурах до 1600°C.
Высокая чистота: получено химическим осаждением из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.
Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.
Коррозионная стойкость: кислота, щелочь, соль и органические реагенты.
- Достичь наилучшего ламинарного потока газа
- Гарантия ровности теплового профиля
- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей

Горячие Теги: Держатели пластин SiC с графитовым покрытием для MOCVD, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные