Вафельный диск с карбидом кремния

Основа вафельного диска Semicorex с SiC-покрытием состоит из высококачественного графита, профессионально покрытого SiC методом химического осаждения из паровой фазы (CVD). Эта усовершенствованная конструкция обеспечивает исключительную устойчивость к тепловым ударам и химическому разложению, значительно продлевая срок службы вафельного диска с карбид-оксидным покрытием и обеспечивая надежную работу на протяжении всего процесса производства полупроводников.

Примечательно, что вафельный диск с SiC-покрытием отличается превосходной теплопроводностью, что имеет решающее значение для эффективного рассеивания тепла при производстве полупроводников. Эта функция сводит к минимуму температурные градиенты по поверхности пластины, обеспечивая равномерное распределение температуры, необходимое для достижения желаемых характеристик полупроводника.

Покрытие SiC обеспечивает надежную защиту от химической коррозии и термического удара, сохраняя целостность вафельного диска с покрытием SiC даже в суровых технологических средах. Повышенная долговечность приводит к увеличению срока службы и сокращению времени простоев, что способствует повышению производительности и экономической эффективности на предприятиях по производству полупроводников.

Более того, вафельный диск с SiC-покрытием можно адаптировать в соответствии с конкретными требованиями и предпочтениями. Мы предоставляем варианты индивидуальной настройки, начиная от корректировки размера и заканчивая вариациями толщины покрытия, что обеспечивает гибкость конструкции и оптимизирует производительность в различных приложениях и параметрах процесса.