Носители пластин Semicorex с покрытием SiC для MOCVD — это высококачественные носители, разработанные для использования в процессе производства полупроводников. Его высокая чистота, отличная коррозионная стойкость и ровный температурный профиль делают его отличным выбором для тех, кто ищет носитель, способный выдержать требования процесса производства полупроводников.
Наши носители пластин с покрытием SiC для MOCVD отличаются высокой степенью чистоты, что делает их отличным выбором для тех, кто ищет носитель, обладающий высокой однородностью и стабильными свойствами.
Наши держатели пластин с покрытием SiC для MOCVD изготовлены с покрытием из высокочистого карбида кремния на графите, что делает его очень устойчивым к окислению при высоких температурах до 1600°C. Процесс химического осаждения из паровой фазы CVD, используемый при его производстве, обеспечивает высокую чистоту и превосходную коррозионную стойкость. Он обладает высокой коррозионной стойкостью, с плотной поверхностью и мелкими частицами, что делает его устойчивым к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам. Его стойкость к высокотемпературному окислению обеспечивает стабильность при высоких температурах до 1600°C.
Параметры держателей пластин с покрытием SiC для MOCVD
Основные характеристики покрытия CVD-SIC |
||
SiC-ХОПФ свойства |
||
Кристальная структура |
Фаза FCC β |
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
твердость |
твердость по Виккерсу |
2500 |
Размер зерна |
μ м |
2~10 |
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
Теплоемкость |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексурная сила |
МПа (4-балльная КТ) |
415 |
Модуль Юнга |
ГПа (изгиб 4pt, 1300°C) |
430 |
Тепловое расширение (CTE) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Особенности графитового токоприемника с покрытием SiC для MOCVD
- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности
Стойкость к высокотемпературному окислению: стабильна при высоких температурах до 1600°C.
Высокая чистота: получено химическим осаждением из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.
Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.
Коррозионная стойкость: кислота, щелочь, соль и органические реагенты.
- Достичь наилучшего ламинарного потока газа
- Гарантия ровности теплового профиля
- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей