Баррельный токоприемник Semicorex с SiC-покрытием для эпитаксиальной пластины является идеальным выбором для выращивания монокристаллов благодаря исключительно плоской поверхности и высококачественному SiC-покрытию. Его высокая температура плавления, стойкость к окислению и коррозионная стойкость делают его идеальным выбором для использования в высокотемпературных и агрессивных средах.
Ищете графитовый токоприемник с исключительным распределением тепла и теплопроводностью? Не ищите ничего, кроме цилиндрического токоприемника Semicorex с покрытием SiC для эпитаксиальной пластины, покрытого карбидом кремния высокой чистоты, обеспечивающего превосходные характеристики в эпитаксиальных процессах и других применениях в производстве полупроводников.
В Semicorex мы уделяем особое внимание предоставлению нашим клиентам высококачественной и экономически эффективной продукции. Наши цилиндрические токоприемники с покрытием из карбида кремния для эпитаксиальных пластин имеют ценовое преимущество и экспортируются на многие европейские и американские рынки. Мы стремимся стать вашим долгосрочным партнером, поставляя продукцию стабильного качества и обеспечивая исключительное обслуживание клиентов.
Параметры цилиндрического токоприемника с покрытием SiC для эпитаксиальной пластины
Основные характеристики покрытия CVD-SIC |
||
Свойства SiC-CVD |
||
Кристаллическая структура |
FCC β-фаза |
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
Твердость |
Твердость по Виккерсу |
2500 |
Размер зерна |
мкм |
2~10 |
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
Теплоемкость |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексуральная сила |
МПа (RT 4-точечный) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) |
430 |
Тепловое расширение (CTE) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Особенности цилиндрического токоприемника с покрытием SiC для эпитаксиальной пластины
- И графитовая подложка, и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.
- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.
- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность соединения, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.
- И графитовая подложка, и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.
- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.