Прочные фокусировочные кольца Semicorex для обработки полупроводников спроектированы так, чтобы выдерживать экстремальные условия камер плазменного травления, используемых при обработке полупроводников. Наши кольца фокусировки изготовлены из графита высокой чистоты с плотным износостойким покрытием из карбида кремния (SiC). Покрытие SiC обладает высокими антикоррозионными и термостойкими свойствами, а также отличной теплопроводностью. Мы наносим SiC тонкими слоями на графит, используя процесс химического осаждения из паровой фазы (CVD), чтобы увеличить срок службы наших колец фокусировки.
Читать далееОтправить запрос