Носитель покрытия Semicorex RTP SiC обеспечивает превосходную термостойкость и термическую однородность, что делает его идеальным решением для обработки полупроводниковых пластин. Благодаря высококачественному графиту с покрытием из карбида кремния этот продукт выдерживает самые суровые условия эпитаксиального роста. Высокая теплопроводность и отличные свойства распределения тепла обеспечивают надежную работу при RTA, RTP или жесткой химической очистке.
Читать далееОтправить запрос