Плазменный лоток для плазменного травления Semicorex разработан специально для высокотемпературных процессов обработки пластин, таких как эпитаксия и MOCVD. Обладая стабильной стойкостью к высокотемпературному окислению до 1600°C, наши носители обеспечивают ровные тепловые профили, ламинарный характер потока газа и предотвращают загрязнение или диффузию примесей.
Читать далееОтправить запрос