Пористая керамика из карбида тантала

Пористая керамика из карбида тантала Semicorex представляет собой сверхвысокотемпературный керамический материал с температурой плавления около 3880 ℃, который может поддерживать стабильную работу в сложных высокотемпературных и высококоррозионных рабочих средах благодаря следующим превосходным эксплуатационным характеристикам.

1. Превосходные тепловые свойства

Максимальная рабочая температура Semicorex пористогокерамика из карбида танталаМожет достигать 3200 ℃, и он может стабильно работать в условиях высокотемпературного роста кристаллов карбида кремния в течение длительного времени без какой-либо деформации или размягчения.

2. Исключительная химическая стабильность.

Пористая керамика из карбида тантала Semicorex демонстрирует лучшую коррозионную стойкость и стойкость к окислению, чем обычная керамика. Он может эффективно противостоять коррозии высокотемпературного кислорода и паров Si в процессе роста кристаллов.

3. Специальная пористая структура.

Пористая керамика из карбида тантала Semicorex имеет равномерно распределенные внутренние поры с пористостью от 10 до 60 % (настраиваемая) и пропускной способностью более 98 %. Эта особая структура позволяет элементам паровой фазы, таким как Si и C, плавно течь и диффундировать внутри печи для выращивания кристаллов, что значительно облегчает рост кристаллов высокого качества.

Применение в выращивании кристаллов карбида кремния

Во время выращивания кристаллов карбида кремния с помощью PVT-процесса пористая керамика из карбида тантала Semicorex в первую очередь выполняет функции фильтрации паровой фазы, регулирования температурного градиента печи и направления потока газового материала. В отличие от обычных пористых графитовых материалов с покрытием TaC, пористая керамика из карбида тантала Semicorex демонстрирует явные преимущества:Графит с покрытием TaCНедостатком материалов является низкая скорость сквозного порообразования, вызванная обработкой покрытия, при этом избегая болевой точки пористых графитовых материалов с покрытием TaC, связанной с отслаиванием покрытия, возникающим в процессе эксплуатации. Используя пористую керамику из карбида тантала Semicorex, вы можете эффективно подавлять дефекты углеродных включений при росте кристаллов карбида кремния, тем самым значительно улучшая качество выращивания кристаллов и выход продукта.