Планетарный восприим

Semicorex Planetary Pempector является незаменимым компонентом для полупроводниковых эпитакси -реакторов, специально разработанных для оборудования Aixtron G5+. Построен из графита высокой чистоты ипокрыт кремниевым карбидом (sic)Этот ущерб гарантирует превосходную тепловую стабильность, исключительную химическую стойкость и непревзойденную производительность в высокотемпературных средах.

Реактор Aixtron G5+ Epitaxy выступает в качестве ориентира в отрасли для GAN, SIC и других процессов роста полупроводников. Планетарный восприимщик имеет ключевое значение в оптимизации потока газа, обеспечивая точное вращение пластины, поддержание точного контроля температуры и достижение равномерного осаждения эпитаксиальных слоев. Его инновационный дизайн значительно повышает повторяемость процесса, что делает его идеальным выбором для масштабирования масштабирования.

Ключевые функции  

- Расширенный материальный состав: изготовлен из графита высокой чистоты с покрытием SIC, обеспечивая повышенную долговечность и устойчивость к суровым условиям процесса.  

- Оптимизированные тепловые характеристики: обеспечивает равномерное распределение тепла, критическое для высокого роста эпитаксиального слоя.  

- Химическая устойчивость: покрытие SIC предотвращает окисление графита, продлевая продолжительность жизни восприимчика и поддержание чистоты процесса.  

- Прецизионная инженерия: разработан для удовлетворения строгих требований систем Aixtron G5+, обеспечивая бесшовную интеграцию и оптимальную эффективность реактора.  

- Высокая поверхностная однородность: сводит к минимуму загрязнение частиц, поддерживая превосходное качество пластины и более высокий урожай в производстве полупроводников.  

Преимущества нашего планетарного восприятия  

- расширенный срок службы:SIC CatingЗначительно уменьшает износ, что приводит к более низкой частоте замены и снижению эксплуатационных затрат.  

- Улучшенная стабильность процесса: обеспечивает постоянное отопление и минимальные тепловые градиенты, что приводит к высококачественной продукции пластины.  

- Совместимость и настройка: доступны в стандартных и индивидуальных проектах для удовлетворения конкретных требований AIXTRON G5+ процесса.  

ГрафитЧасти играют незаменимую и очень важную роль в процессе полупроводника. Качество графитовых материалов оказывает большое влияние на качество готовых продуктов. Наша консистенция графита и однородность материала может контролироваться и гарантироваться в рамках производственного процесса.

1. Небольшая партия производства, в печи карбонизации используется только небольшая печь только с 50 кубическими метрами

2. Каждый кусок материала контролируется и отслеживается

3. Многоточечный мониторинг температуры в пространстве печи, чтобы гарантировать, что разница температур сохраняется в очень небольшом диапазоне

4. Многоточечный мониторинг температуры на материале, чтобы гарантировать, что разница температур сохраняется в очень небольшом диапазоне

Semicorex Planetary Pempector является премиальным решением для реакторов Aixtron G5+, предлагая выдающуюся тепловую стабильность, химическую стойкость и точность. Разработанный для наиболее требовательных процессов производства полупроводников, он приводит к более высокой доходности пластин, сводит к минимуму риск загрязнения и продлевает срок службы оборудования. Обновите свою систему эпитаксии с помощью высшего уровня для непревзойденных результатов.