Планетарный диск

Планетарный диск — революционный носитель пластин и токоприемник, разработанный для процессов молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) в печах химического осаждения металлов-органических соединений (MOCVD). Планетарный диск, изготовленный из высококачественных материалов, призван поднять производство полупроводников на новую высоту.

Планетарный диск тщательно изготовлен из графита с CVD-покрытием SiC, что обеспечивает исключительную термическую стабильность, высокую чистоту и устойчивость к экстремальным температурам. Этот усовершенствованный состав материала гарантирует превосходную производительность и долговечность в сложных условиях MOCVD.

Покрытие CVD SiC на графитовой подложке повышает теплопроводность, способствуя эффективной теплопередаче во время процесса MOCVD. Эта функция не только обеспечивает постоянство температурных профилей по всей пластине, но также способствует снижению термического напряжения и повышению общего выхода продукции.

Планетарный диск изготавливается по индивидуальному заказу и совместим с широким диапазоном размеров полупроводниковых пластин, что делает его универсальным решением для различных производственных требований. Планетарный диск, созданный для того, чтобы выдерживать строгие требования печей MOCVD, демонстрирует исключительную долговечность и надежность. Его прочная конструкция обеспечивает длительную работу, сокращая время простоя и затраты на техническое обслуживание, связанные с носителями пластин и токоприемниками.