Подложка SiC может иметь микроскопические дефекты, такие как дислокация резьбового винта (TSD), дислокация края резьбы (TED), дислокация базовой плоскости (BPD) и другие. Эти дефекты вызваны отклонениями в расположении атомов на атомном уровне. Кристаллы SiC также могут иметь макроскопические дислок......
Читать далееСогласно результатам исследований, покрытие TaC может действовать как защитный и изолирующий слой, продлевая срок службы графитовых компонентов, улучшая радиальную однородность температуры, поддерживая стехиометрию сублимации SiC, подавляя миграцию примесей и снижая потребление энергии. В конечном и......
Читать далееХимическое осаждение из паровой фазы CVD означает введение двух или более газообразных сырьевых материалов в реакционную камеру в условиях вакуума и высокой температуры, где газообразное сырье реагирует друг с другом с образованием нового материала, который осаждается на поверхность пластины.
Читать далее