Сухое травление является основной технологией в процессах производства микроэлектромеханических систем. Проведение процесса сухого травления оказывает непосредственное влияние на структурную точность и эксплуатационные характеристики полупроводниковых приборов. Чтобы точно контролировать процесс тра......
Читать далееСухое травление обычно представляет собой процесс, сочетающий физические и химические воздействия, при этом ионная бомбардировка является решающим методом физического травления. При травлении угол падения и энергетическое распределение ионов могут быть неравномерными.
Читать далееАэростатические направляющие из карбида кремния — это усовершенствованная система направляющих, сочетающая в себе свойства материала карбида кремния и аэростатическую технологию. Аэростатические направляющие из карбида кремния являются оптимальным решением для высокоточных, высоконадежных и долгосро......
Читать далееОсновным методом получения монокристаллов карбида кремния является метод физического переноса паров (PVT). Этот метод в основном состоит из полости кварцевой трубки, нагревательного элемента (индукционная катушка или графитовый нагреватель), изоляционного материала из графитового углеродного войлока......
Читать далееSOI, сокращение от «кремний на изоляторе», представляет собой процесс производства полупроводников, основанный на специальных материалах подложки. С момента индустриализации в 1980-х годах эта технология стала важной отраслью передовых процессов производства полупроводников. Процесс SOI, отличающийс......
Читать далееЭлектростатический патрон выполняет множество функций, таких как равномерный электростатический разряд, теплопроводность, адсорбция и фиксация пластин в области производства полупроводников. Одной из основных функций ESC является стабильная адсорбция пластин в экстремальных условиях эксплуатации, та......
Читать далее