В настоящее время методы синтеза порошка SIC высокой чистоты для растущих монукристаллов в основном включают в себя: метод CVD и улучшенный метод самопроизводительного синтеза (также известный как метод высокотемпературного синтеза или метод сгорания).
Читать далееТочные керамические детали являются ключевыми компонентами основного оборудования в ключевых процессах производства полупроводников, таких как фотолитография, травление, осаждение тонкого пленки, ионная имплантация, CMP и т. Д., Такие, как подшипники, направляющие рельсы, лайнеры, электростатические......
Читать далее