Распространенные полупроводниковые кварцевые компоненты и их применение

Кварц принадлежит к тригональной кристаллической системе, которая представляет собой трехмерный каркасный минеральный кристалл, состоящий из диоксида кремния. Обычно чистый кварц бесцветен и прозрачен, но принимает разнообразные оттенки в результате присутствия микропигментных ионов, мелкодисперсных включений или образования центров окраски. Обладая множеством превосходных свойств, кварц широко применяется в различных процессах производства полупроводников, а его характеристики и качество напрямую влияют на производительность, производительность и стоимость полупроводниковых устройств.

1. Кварцевый тигель

The кварцевые тиглииспользуются для хранения сырья поликристаллического кремния в процессе высокотемпературного выращивания монокристаллического кремния. Чтобы обеспечить стабильность материалов подложки, кварцевые тигли должны обладать превосходной высокотемпературной стабильностью (температура плавления> 1700 ℃) и низким коэффициентом теплового расширения, чтобы противостоять суровым высокотемпературным условиям эксплуатации. Кварцевые тигли для полупроводниковых применений должны быть изготовлены из кварца высокой чистоты марки 4Н8 или выше. Такой разумный выбор материала может эффективно снизить риск загрязнения кристаллов, вызванный осаждением примесей из кварцевого тигля из-за высокой температуры.

Кварцевые печные трубы обычно служат высокотемпературными реакционными камерами для различных процессов производства пластин, таких как диффузия, окисление и химическое осаждение из паровой фазы (CVD). Таккварцевые печи печидолжны обладать превосходной устойчивостью к высоким температурам, чтобы предотвратить их деформацию или размягчение, вызванное воздействием высокотемпературной среды. В некоторых процессах даже требуется обработка дегидроксилированием, чтобы уменьшить влияние гидроксильных групп на термическую стабильность. Для изготовления трубок кварцевых печей также требуется кварцевый материал высокой чистоты с содержанием металлических примесей ≤1 ppm, чтобы предотвратить осаждение примесей в процессе реакции и влияние на результаты обработки пластин.

Кварцевые лодочки обычно используются вместе с кварцевыми печными трубками для переноски и транспортировки от десятков до сотен пластин. Поэтому,кварцевые лодкиОбычно они должны обладать такой же превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью, а также стабильными и надежными характеристиками с точки зрения механической прочности, что и кварцевые печи.

Кварцевые кольца фокусировкиспециально разработаны для процессов сухого травления. Обычно они устанавливаются вокруг пластин для удержания и гомогенизации плазмы, эффективно обеспечивая единообразие скорости травления и формирования рисунка на пластине. Эта рабочая среда требует, чтобы кварцевые кольца фокусировки обладали высокой устойчивостью к плазменной коррозии, чрезвычайно высокой точностью размеров и гладкой поверхностью для предотвращения аномальных разрядов или образования частиц.