> Новости

Новости

Оптимизация конструкции теплового поля для эпитаксиальной печи SiC (CVD-реактор с горячими стенками)

Основной целью является достижение однородности температуры поверхности пластины (≤±0,5–5 ℃) и стабильности поля температуры/потока, тем самым улучшая однородность толщины эпитаксиального слоя (<3%), doping uniformity (<8%), reducing defect density, and increasing growth rate (>60 мкм/ч).

Ключевые технологии углерод/углеродных композиционных материалов

C/C-композиты обладают множеством превосходных свойств и в настоящее время являются единственными композиционными материалами, способными работать при высоких температурах выше 2600°C в инертной атмосфере, что делает их широко применимыми в аэрокосмической, военной, атомной энергетике, металлургии и......

Краткое введение в процесс изготовления пластин SiC

Являясь незаменимым материалом подложки в передовой полупроводниковой промышленности, пластины карбида кремния демонстрируют превосходные тепловые и электрические свойства, предлагая широкие перспективы применения в высокотемпературных, высокочастотных, мощных и радиационно-стойких интегрированных э......

Теплоизоляционный материал из углеродного волокна

Комбинация мягкого войлока и жесткого/жесткого войлока по существу предполагает баланс трех вещей: теплопроводности (твердая/газовая фаза), радиационной теплопередачи, а также структуры и сборки. Сосредоточение внимания только на одном показателе (например, наименьшей высокотемпературной теплопровод......

Свойства и полупроводниковое применение карбидокремниевой керамики

Карбидокремниевая керамика — это современный керамический материал, состоящий в основном из углерода и кремния. Обладая выдающимися эксплуатационными характеристиками, карбидокремниевая керамика широко используется в высокотехнологичных отраслях промышленности, включая механическую обработку, произв......

В чем разница между эпитаксией и CVD

В процессе осаждения тонких пленок при производстве чипов две технологии часто упоминаются вместе, хотя они фундаментально различны: эпитаксия и химическое осаждение из паровой фазы. Они подобны двоюродным братьям, оба принадлежат к семейству «парообразующих», но имеют разные характеристики и сильны......

<...2 3 4 5 6...58 >