Semicorex — это имя, которому доверяют, в полупроводниковой промышленности, поставляющее высококачественные планетарные токоприемники MOCVD для полупроводников. Наш продукт разработан для удовлетворения конкретных потребностей производителей полупроводников, которым нужен носитель, способный обеспечить превосходную производительность, стабильность и долговечность. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашей продукции и о том, как мы можем помочь вам в удовлетворении ваших потребностей в производстве полупроводников.
Наш планетарный токоприемник MOCVD для полупроводников отличается стойкостью к высокотемпературному окислению, что обеспечивает его стабильность при высоких температурах до 1600°C. Он также имеет высокую чистоту, получен методом химического осаждения из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования, что обеспечивает однородность и консистенцию продукта, равномерный термический профиль и ламинарный характер потока газа.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем планетарном датчике MOCVD для полупроводников.
Параметры планетарного токоприемника MOCVD для полупроводников
Основные характеристики покрытия CVD-SIC |
||
Свойства SiC-CVD |
||
Кристаллическая структура |
FCC β-фаза |
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
Твердость |
Твердость по Виккерсу |
2500 |
Размер зерна |
мкм |
2~10 |
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
Теплоемкость |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексуральная сила |
МПа (RT 4-точечный) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) |
430 |
Тепловое расширение (CTE) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Особенности графитового токоприемника с покрытием SiC для MOCVD
- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности.
Устойчивость к высокотемпературному окислению: Стабилен при высоких температурах до 1600°C.
Высокая чистота: получено методом химического осаждения из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.
Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.
Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
- Достижение наилучшего ламинарного режима потока газа
- Гарантия равномерности теплового профиля
- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей.