Дом > Продукты > Карбид кремния с покрытием > Баррель Сусептор > Реакторная система для жидкофазной эпитаксии (ЖФЭ)

Продукты

Реакторная система для жидкофазной эпитаксии (ЖФЭ)

Реакторная система для жидкофазной эпитаксии (ЖФЭ)

Реакторная система жидкофазной эпитаксии Semicorex (LPE) — это инновационный продукт, который обеспечивает превосходные тепловые характеристики, равномерный тепловой профиль и превосходную адгезию покрытия. Его высокая чистота, стойкость к высокотемпературному окислению и коррозионная стойкость делают его идеальным выбором для использования в полупроводниковой промышленности. Его настраиваемые параметры и экономичность делают его высококонкурентным продуктом на рынке.

Отправить запрос

Описание продукта

Наша реакторная система для жидкофазной эпитаксии (ЖФЭ) — это высоконадежный и долговечный продукт, который обеспечивает отличное соотношение цены и качества. Его стойкость к высокотемпературному окислению, равномерный тепловой профиль и предотвращение загрязнения делают его идеальным для выращивания высококачественных эпитаксиальных слоев. Низкие требования к техническому обслуживанию и возможность настройки делают его высококонкурентным продуктом на рынке.

В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественной и экономически эффективной продукции для наших клиентов. Наша реакторная система для жидкофазной эпитаксии (ЖФЭ) имеет ценовое преимущество и экспортируется на многие европейские и американские рынки. Мы стремимся быть вашим долгосрочным партнером, поставляя неизменно качественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.

Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашей реакторной системе для жидкофазной эпитаксии (ЖФЭ).


Параметры реакторной системы жидкофазной эпитаксии (ЖФЭ)

Основные характеристики покрытия CVD-SIC

SiC-ХОПФ свойства

Кристальная структура

Фаза FCC β

Плотность

г/см³

3.21

твердость

твердость по Виккерсу

2500

Размер зерна

μ м

2~10

Химическая чистота

%

99.99995

Теплоемкость

Дж·кг-1 ·К-1

640

Температура сублимации

2700

Фелексурная сила

МПа (4-балльная КТ)

415

Модуль Юнга

ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)

430

Тепловое расширение (CTE)

10-6К-1

4.5

Теплопроводность

(Вт/мК)

300


Характеристики реакторной системы жидкофазной эпитаксии (ЖФЭ)

- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.

- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.

- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность сцепления, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.

- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.

- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.




Горячие Теги: Реакторная система жидкофазной эпитаксии (ЖФЭ), Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные

Связанная категория

Отправить запрос

Пожалуйста, не стесняйтесь дать свой запрос в форме ниже. Мы ответим вам в течение 24 часов.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept