Горизонтальные кварцевые вафельные лодочки

Горизонтальные кварцевые вафельные лодочкиполупроводниковые пластины обычно держат горизонтально внутри печных труб оборудования для термообработки, нагревая их внешними нагревательными устройствами. Они широко используются в сложных высокотемпературных процессах коррозионной термообработки полупроводников, таких как термическое окисление, высокотемпературная диффузия, отжиг и процессы химического осаждения из паровой фазы (CVD).

Функции горизонтальных кварцевых лодочек Semicorex

1. Стабильное удержание и крепление

Горизонтальные кварцевые лодочки Semicorex обладают превосходной несущей способностью и могут постоянно обеспечивать стабильную поддержку нескольких полупроводниковых пластин. А их оптимизированный внешний дизайн и точная структура слотов гарантируют, что каждыйвафляидеально устанавливается и надежно закрепляется на горизонтальных кварцевых лодочках для пластин, что значительно уменьшает царапины и столкновения пластин, вызванные тряской, смещением и наклоном во время транспортировки и производственных процессов.

2. Помощь в обеспечении единообразия процесса

Структура горизонтальных кварцевых пластин с равными промежутками щелей позволяет упорядоченно размещать полупроводниковые пластины, создавая таким образом стабильное и плавное поле потока газа в высокотемпературных печах. Структурный дизайн обеспечивает постоянный контакт газа и скорость реакции на каждой поверхности пластины, тем самым эффективно уменьшая различные дефекты, вызванные неравномерным нагревом и дифференциальным контактом газа, такие как неполное окисление пластины, неравномерное осаждение тонких пленок и отклонение концентрации легирования.

3. Длительный срок службы

Благодаря превосходной термостойкости кварцевого материала горизонтальные кварцевые вафельные лодочки Semicorex могут выдерживать высокие температуры 1100-1200 ℃ в течение длительного времени без деформации и плавления.Кварцхимически инертен по отношению к газам, обычно используемым в полупроводниковых процессах, таким как кислород, азот и хлористый водород. Эта исключительная химическая инертность может минимизировать риск коррозии от технологических газов, значительно продлевая срок службы и сокращая время и затраты на замену оборудования.