Вертикальные кварцевые вафельные лодочки

В процессах производства полупроводников полупроводниковые компоненты в реакционной камере должны соответствовать строгим стандартам высокой чистоты. В противном случае даже микро- или нано-примеси или загрязнения могут нанести необратимый ущерб производительности и производительности полупроводниковых устройств.

Кварцевые вафельные корабликиобычно устанавливаются вертикально в высокотемпературных реакционных камерах, таких как диффузионные печи, печи окисления и печи отжига, где они должны находиться в прямом контакте с пластинами. Вертикальные кварцевые лодочки Semicorex изготавливаются из кварцевых материалов высокой чистоты, что отвечает этим требованиям высокой чистоты. Такой разумный выбор материала позволяет эффективно избежать загрязнения пластин, вызванного реагентами, выделяющимися из лодочек для пластин в процессе производства.

В производстве полупроводников пластинчатые лодочки должны не только подвергаться повторяющимся циклам нагревания и охлаждения, но и выдерживать коррозию технологических газов в течение длительного времени. Вертикальный кварц SemicorexвафляЛодки демонстрируют исключительную стабильность размеров в сложных условиях эксплуатации при постоянном термоциклировании благодаря присущей им термической стабильности. Эти превосходные термические свойства значительно предотвращают деформацию пластин и повреждения, вызванные деградацией точности или структурной деформацией вертикальных кварцевых лодочек. Более того, благодаря своей высокой химической инертности вертикальные кварцевые лодочки могут быть устойчивы к реакции с агрессивными газами, такими как кислород, водяной пар, хлористый водород и аммиак. Это свойство значительно снижает вероятность того, что химическая коррозия нарушит структурную целостность вертикальных кварцевых лодочек.

В дополнение к вышеупомянутым преимуществам в производительности, вертикальные кварцевые лодочки Semicorex также демонстрируют превосходную конкурентоспособность в точности размеров и конструктивном дизайне. Каждая часть из них изготовлена ​​с помощью точных методов механической обработки. Этот точный контроль размеров обеспечивает точное позиционирование пластин, сводя к минимуму царапины и трещины, вызванные смещением или столкновениями во время загрузки, обработки и разгрузки.