Кварцевая 12-дюймовая лодка

Спроектированная с высокой точностью и изготовленная из кварца высокой чистоты, 12-дюймовая лодка Semicorex Quartz обеспечивает оптимальное решение деликатной и важной задачи обработки пластин.

В основе производства полупроводников качество и надежность используемого оборудования могут существенно повлиять на производительность и выход конечного продукта. 12-дюймовая лодка Quartz превосходит других в этом отношении, предлагая непревзойденную термическую стабильность, химическую стойкость и механическую прочность. Его превосходные свойства гарантируют надежную фиксацию и защиту пластин на различных этапах обработки, включая высокотемпературный отжиг, химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и окисление.

Одной из выдающихся особенностей 12-дюймовой лодки Quartz является ее исключительная термическая стабильность. Кварц известен своей способностью выдерживать экстремальные температуры без деформации и разрушения. Это особенно важно во время высокотемпературных процессов, где сохранение структурной целостности имеет важное значение для предотвращения загрязнения или поломки пластин. Конструкция Quartz 12-дюймовой лодки в полной мере использует термические свойства кварца, обеспечивая равномерное распределение тепла и минимизируя термическую нагрузку на пластины. Это приводит к более последовательному процессу и более качественным результатам.

Помимо термической стабильности, 12-дюймовая лодка Quartz демонстрирует превосходную химическую стойкость. Во время производства полупроводников пластины подвергаются воздействию различных химических веществ, включая кислоты, щелочи и химически активные газы. Кварцевый материал высокой чистоты по своей природе устойчив к этим агрессивным веществам, предотвращая любые побочные реакции, которые могут поставить под угрозу пластины. Такая химическая инертность гарантирует, что в лодочку не попадут никакие примеси, тем самым сохраняя целостность и чистоту производимых полупроводниковых приборов.