Прочный цилиндрический токоприемник с покрытием SiC для LPE

Обладая превосходной плотностью и теплопроводностью, цилиндрический токоприемник Semicorex Durable SiC-Coated для LPE является идеальным выбором для использования в процессах LPE и других областях производства полупроводников. Его покрытие SiC высокой чистоты обеспечивает превосходные свойства защиты и распределения тепла, что делает его идеальным выбором для получения надежных и стабильных результатов.

Отправить запрос

Описание продукта

Если вам нужен высококачественный графитовый токоприемник с превосходной термостойкостью и коррозионной стойкостью, обратите внимание на бочкообразный токоприемник Semicorex Durable SiC-Coated для LPE. Его покрытие из карбида кремния обеспечивает исключительную теплопроводность и распределение тепла, гарантируя надежную и стабильную работу даже в самых требовательных высокотемпературных средах.

Наш прочный барабанный токоприемник с карбидно-кремниевым покрытием для LPE разработан для достижения наилучшей ламинарной картины газового потока, обеспечивая равномерность теплового профиля. Это помогает предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей, обеспечивая высококачественный эпитаксиальный рост на кристалле пластины.

Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем прочном цилиндрическом токоприемнике с покрытием SiC для LPE.

Параметры прочного цилиндрического токоприемника с покрытием SiC для ЖФЭ

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (КТР)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Характеристики прочного цилиндрического токоприемника с покрытием SiC для ЖФЭ

- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.

- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.

- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность сцепления, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.

- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.

- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.

Горячие Теги: Прочный цилиндрический токоприемник с SiC-покрытием для LPE, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные