Ствол-приемник из карбида кремния с графитовым покрытием

Графит с покрытием из карбида кремния Semicorex Barrel Susceptor представляет собой специализированный компонент, предназначенный для использования в процессе эпитаксии, особенно при переноске пластин. Этот графит с покрытием из карбида кремния для ствола изготовлен из графитового материала, который известен своей превосходной теплопроводностью и стабильностью при высоких температурах. Для повышения производительности и долговечности поверхность графита покрыта слоем карбида кремния (SiC).

Покрытие из карбида кремния в графите Barrel Susceptor с покрытием из карбида кремния служит нескольким важным целям в этом контексте. Во-первых, он обеспечивает дополнительный уровень защиты нижележащей графитовой подложки, предохраняя ее от химических реакций и износа, которые могут возникнуть в процессе эпитаксии. Во-вторых, покрытие SiC улучшает термические свойства графита с покрытием из карбида кремния Barrel Susceptor, обеспечивая эффективный и равномерный нагрев пластин. Равномерный нагрев необходим для получения однородных и высококачественных эпитаксиальных слоев на полупроводниковых пластинах.

Конструкция цилиндрического сусцептора с графитовым покрытием из карбида кремния оптимизирована для надежного удержания и транспортировки нескольких пластин на протяжении всего процесса эпитаксии. Его бочкообразная структура позволяет легко загружать и выгружать пластины, обеспечивая при этом правильное распределение тепла и термическую стабильность во время работы.

В целом, графитовый патрон с покрытием из карбида кремния представляет собой важнейший компонент эпитаксионного оборудования, обеспечивающий надежность, долговечность и точный температурный контроль, необходимый для производства современных полупроводниковых устройств.