Бочковой токоприемник для жидкофазной эпитаксии

Если вам нужен графитовый токоприемник, способный надежно и стабильно работать даже в самых требовательных высокотемпературных и агрессивных средах, бочкообразный токоприемник Semicorex для жидкофазной эпитаксии — идеальный выбор. Покрытие из карбида кремния обеспечивает превосходную теплопроводность и распределение тепла, обеспечивая исключительную производительность при производстве полупроводников.

Отправить запрос

Описание продукта

Бочковой токоприемник Semicorex для жидкофазной эпитаксии — это лучший выбор для применений в производстве полупроводников, требующих высокой термостойкости и коррозионной стойкости. Покрытие из карбида кремния высокой чистоты и исключительная теплопроводность обеспечивают превосходные свойства защиты и распределения тепла, обеспечивая надежную и стабильную работу даже в самых сложных условиях.

Наш бочкообразный токоприемник для жидкофазной эпитаксии разработан для достижения наилучшей ламинарной картины газового потока, обеспечивая равномерность теплового профиля. Это помогает предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей, обеспечивая высококачественный эпитаксиальный рост на кристалле пластины.

Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем цилиндрическом токоприемнике для жидкофазной эпитаксии.

Параметры бочкового токоприемника для жидкофазной эпитаксии

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Особенности бочкового токоприемника для жидкофазной эпитаксии

- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.

- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.

- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность сцепления, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.

- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.

- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.

Горячие Теги: Бочковой токоприемник для жидкофазной эпитаксии, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные