Эписистема с бочкообразным суппортом для эпитаксии ЖФЭ

Наша эпитаксиальная система Barrel Susceptor Epi для LPE Epitaxy — это инновационный продукт, который обеспечивает превосходные тепловые характеристики, равномерный тепловой профиль и превосходную адгезию покрытия. Его высокая чистота, стойкость к высокотемпературному окислению и коррозионная стойкость делают его высоконадежным продуктом для использования в полупроводниковой промышленности. Его предотвращение загрязнения и примесей, а также низкие требования к техническому обслуживанию делают его высококонкурентным продуктом на рынке.

В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественной и экономически эффективной продукции для наших клиентов. Наша эпитаксиальная система бочковых токоприемников для эпитаксии LPE имеет ценовое преимущество и экспортируется на многие европейские и американские рынки. Мы стремимся быть вашим долгосрочным партнером, поставляя неизменно качественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.

Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашей эпитаксиальной системе бочкообразных суппортов для эпитаксии LPE.

Параметры бочкообразной эпитаксиальной системы для эпитаксии ЖФЭ

Особенности бочковой эпитаксиальной системы для эпитаксии LPE

- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.

- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.

- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность сцепления, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.

- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.

- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.