Алюминиевые нитридные обогреватели

Полукикс алюминиевый нитридные нагреватели представляют собой современные элементы керамического нагрева, предназначенные для применений, которые требуют высокой теплопроводности, электрической изоляции и исключительной долговечности. Произведенные из керамики алюминия нитрида, эти обогреватели обеспечивают быстрое и равномерное нагрев, что делает их идеальными для высоких средств, таких как полупроводниковая обработка, медицинская диагностика и передовые аналитические инструментарии.

Алюминиевые нитридные обогреватели являются ключевыми компонентами в оборудовании для осаждения с тонкой пленкой. Они напрямую применяются к камере процесса и находятся в прямом контакте с пластиной. Они не только несут пластинку, но и гарантируют, что пластина получает 

стабильная и равномерная температура процесса. Эта особенность необходима для высоких реакций на поверхности пластины и генерации равномерных тонких пленок.

Как правило, нагреватели нитрида алюминия включают керамический субстрат с поверхностью нагрузки пластины и цилиндрическим опорным корпусом, который поддерживает его на спине. В дополнение к резистивной нагревательной цепи для нагрева, РЧ -электрод и электростатический электрод и другие проводники также предоставляются внутри или на поверхности керамического субстрата.

Оборудование для осаждения тонкого пленки обычно использует керамические материалы на основеалюминиевый нитрид (Aln)Потому что это включает в себя высокотемпературную среду. Причина, по которой алюминиевые нитридные нагреватели предпочтительнее в производстве полупроводников, в основном связана с их уникальными физическими и химическими свойствами. Нитрид алюминия не только обладает высокой теплопроводностью и может достичь быстрого нагрева и охлаждения за короткое время, но также имеет хорошую электрическую изоляцию и механическую прочность, обеспечивая стабильность и надежность обогревателя. Кроме того, коэффициент термического расширения нитрида алюминия аналогичен кремнию, который помогает уменьшить влияние теплового напряжения на пластин и улучшить выход процесса.

Вообще говоря,керамические обогревателив основном используются в оборудовании отложения тонко пленки. Поскольку он включает в себя высокотемпературные процессы, используемый керамический материал представляет собой в основном алюминиевый нитрид; Электростатические патроны в основном используются в оборудовании травления, а используемый керамический материал - это в основном оксид алюминия. С разработкой полупроводниковых технологий между керамическими нагревателями и электростатическими патронами существует совпадение. Например, керамические обогреватели, используемые в оборудовании от осаждения тонкого пленки, оснащены электростатическими патронами, которые имеют двойные функции высокотемпературного нагрева и электростатической адсорбции. Электростатические патроны, используемые в оборудовании травления, также начинают включать высокотемпературные процессы, а керамический материал должен быть изменен от оксида алюминия на нитрид алюминия.